氧氣是空氣的重要組成部分，氧氣的含量關系到我們呼吸的質量。同時氧氣也是工業(yè)生產中常見的氣體原料，而工業(yè)生產中產生的氣體成分復雜，可能含有大量可燃氣體且過爆炸下限。微量氧分儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法，對惰性氣體，碳氫氣體，He，H2，CO2中的氧含量進行PPM分析，是測量H2 ，N2 ，Ar ，He ，乙炔， 乙烯，丁二烯，CO2 ，CnHm 及其它氣體中氧含量的理想儀器。微量氧分析儀之所以是叫微量是因其測量的氧濃度非常小，除了一些特殊領域外，其他地方測氧濃度是很少用到的。
微量氧分析儀應用：
空氣液化和分離；
石油化工、電子電力等行業(yè)中高純氧的分析；
空分高純氧監(jiān)測；
手套箱氧氣分析儀；
醫(yī)療衛(wèi)生行業(yè)；
微電子、半導體、航天等領域；
制氫／制氮／C02設備，凈化／干燥設備等。
樣品中的水分在管壁上冷凝凝結，造成對微量氧的溶解吸收，應根據(jù)情況對取樣管線采取絕熱保溫或伴熱保溫措施。檢測液氮中的微量氧時，尤其要注意加溫措施，不然，由于氧沸點低于氮沸點13度，樣品氣不均勻氣化，會使測量值嚴重偏低。樣品氣中不能含有油類組分或固體顆粒物，以免引起滲透膜阻塞和污染。樣品氣中不應含有硫化物、磷化物或酸性氣體成分。這些組分會對燃料電池，特別是堿性燃料電池造成危害。
